什么是荷电效应？

扫描电子显微镜主要用于样品表面微观形貌观察，但在观察样品过程中经常由于荷电效应使得图像异常变亮、畸变，甚至出现图像模糊的情况，严重影响成像质量。

图1固体绝缘材料的电子发射特性曲线。横坐标为入射电子能量，纵坐标为试样的电子产率。荷电现象可以用基尔霍夫电流定律表示，即在任一瞬时流向某一结点的电流之和等于由节点流出的电流之和。可用以下公式表达：

其中 I_p 是入射电子的电流，δI_b 是背散射电子和二次电子的电流之和，I_sc 是样品接地电流，Q 为时间 t 内的放电电荷。