专为研发设计：飞纳台式扫描电镜

传统的加工通常采用激光烧蚀来切割或铣削材料。 超高速微加工和微机械利用短脉冲激光，在微米尺度下创造或切割2D或3D结构。对这些微结构的分析需要扫描电镜（SEM），提供高分辨率的大范围的图像。因为在使用新材料时要测试的变量很多，所以在开发过程中，需要花费很多时间在设备中进行扫描。很明显，现场成像微观结构是必要的。在对不同系统的台式扫描电镜和相同的样品进行图像评估后，Tommaso Baldacchini博士选择了飞纳台式扫描电镜高分辨率专业版Phenom Pro，并指出它是“专门为研究和开发所设计的”。

高精度微型加工结构

创建微型或纳米器件的传统方法往往不再适用，因为尺寸正不断缩小。理波（Newport）公司开发了一种利用双光子聚合（TPP）来制造复杂结构的激光mFAB。TPP是一种印刷技术，可实现特征尺寸小至100 nm的聚合物微结构的真实三维书写。理波（Newport）公司已将TPP应用于之前不可能用标准制造技术制造的设备。包括微电子学，光子学和用于药物输送的生物医学装置。

这里展示了TPP创建的结构的示例。TPP是*能够在这些长度范围内制造物体的技术。台式扫描电镜（SEM）是分析这些微观结构表面特征的*仪器。

TPP是一种增材制造工艺，通过激光诱导光聚合将材料添加到基材上。 激光mFAB也可以执行消减类型的过程，如聚合物消融。 在下面一组图像中显示了在纳米尺度上去除材料的示例。

对于这个烧蚀样品，使用了飞纳台式扫描电镜高分辨率专业版Phenom Pro来验证消融线是否清晰完整，是否有碎片或凸起的边缘。超短脉冲激光器用于激光mFAB的高精度冷切割。材料聚合物和电介质（消融）的应用从光伏到平板显示器有很多种。

扫描电镜（SEM）提供了所需的景深，可以看到顶部、侧面和底部。在微观和纳米尺寸上，需要用飞纳台式扫描电镜（SEM）对消融结构进行成像。